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                            微型運(yùn)動(dòng)控制
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							壓電Z軸平臺(tái)
						
      
						
      
							
      
								
      
									
      
										
        
                                                                                        											
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      壓電Z軸平臺(tái)
      
								
      
								
      
									
      我們提供的 45 系列垂直升降臺(tái)可在厘米級(jí)范圍內(nèi)以納米級(jí)精度移動(dòng)，承載重量可達(dá) 1 kg，靜止時(shí)可自鎖。此款升降平臺(tái)配備了集成定位傳感器，旨在提供快速簡(jiǎn)便設(shè)置所需的精度、負(fù)載能力和易用性。
      

      45 系列垂直升降臺(tái)的特點(diǎn)為平整、占用空間小，僅為 45 × 45 mm，垂直方向的行程為 10 mm，可提供 5 N 或 10 N 的上升力。
      

      模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容且可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平穩(wěn)的連續(xù)運(yùn)動(dòng)、快速的步進(jìn)和穩(wěn)定時(shí)間以及靜止時(shí)自鎖功能。
      
								
      
							
      
						
      
						
      
                                                        
      
                                
      產(chǎn)品選型
      
								
      
									
										
      
											型號(hào)
                                            圖片
                                                                                        
      行程 (Z) mm
      		
                                                                                        
      分辨率 nm
      		
                                                                                        
      較小可移動(dòng)增量  nm
      		
                                                                                        
      雙向重復(fù)性 nm (typ. @  ± 5 mm travel)
      		
                                                                                        
      偏擺 Pitch
      		
                                                                                        
      偏擺 Yaw
      		
                                                                                        
      推力/拉力 N
      		
                                                                                        
      真空兼容性
      		
                                            										
      
									      
									
                                        										
      
											ELEV-5N
											
                                                                                             
      10
      		
                                                                                             
      2
      		
                                                                                             
      2
      		
                                                                                             
      ± 100
      		
                                                                                             
      ± 150
      		
                                                                                             
      ± 150
      		
                                                                                             
      5  (min.)
      		
                                                                                             
      -
      		
                                            										
      
                                        										
      
											ELEVHV-5N
											
                                                                                             
      10
      		
                                                                                             
      2
      		
                                                                                             
      2
      		
                                                                                             
      ± 100
      		
                                                                                             
      ± 150
      		
                                                                                             
      ± 150
      		
                                                                                             
      5  (min.)
      		
                                                                                             
      10-6 mbar
      		
                                            										
      
                                        										
      
											ELEV-10N
											
                                                                                             
      10
      		
                                                                                             
      2
      		
                                                                                             
      2
      		
                                                                                             
      ± 100
      		
                                                                                             
      ± 150
      		
                                                                                             
      ± 150
      		
                                                                                             
      10  (min.)
      		
                                                                                             
      -
      		
                                            										
      
                                        										
      
											ELEVHV-10N
											
                                                                                             
      10
      		
                                                                                             
      2
      		
                                                                                             
      2
      		
                                                                                             
      ± 100
      		
                                                                                             
      ± 150
      		
                                                                                             
      ± 150
      		
                                                                                             
      10  (min.)
      		
                                                                                             
      10-6 mbar
      		
                                            										
      
                                        										
      
											XVP
											
                                                                                             
      10
      		
                                                                                             
      1250
312
78
5
      		
                                                                                             
      1250
312
80
50
      		
                                                                                             
      2500
700
160
100
      		
                                                                                             
      140
      		
                                                                                             
      60
      		
                                                                                             
      30
      		
                                                                                             
      10-6 mbar
10-9 mbar
      		
                                            										
      
                                        
									      
								
      
                                                            
      
                            						
      
					
      
				
      
			
      
			
      
    

      

      
    
      
    
      產(chǎn)品中心
      

      

      
    
      
        
        
      
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