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                        ELEVHV-5N
                    
      
                    
      
                        
      
                            
      
                                
      
                                    
        
                                            
                                                                                    
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      ELEVHV-5N
      
                            
      真空納米分辨率垂直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
      
                            
      
                                                                    
      行程（Z）：10 mm
      
                                                                    
      分辨率：2 nm
      
                                                                    
      較小可移動(dòng)增量：2 nm
      
                                                                    
      雙向重復(fù)性：± 100 nm （典型值@ 全行程）
      
                                                                    
      推力/拉力：5 N （至少）
      
                                                                    
      鎖止力（電源關(guān)閉時(shí)）：6 N（?。?/span>
      
                                                            
      
                        
      
                    
      

                
      
            
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                                                        
      產(chǎn)品描述
      
                                                                                    
      產(chǎn)品參數(shù)
      
                                                                                    
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      產(chǎn)品描述
      
                            
      

      我們提供的 45 系列壓電 Z 軸平臺(tái)有標(biāo)準(zhǔn)版和高真空版兩種。均采用平頂設(shè)計(jì)，占用空間僅為 45 × 45 毫米，垂直方向的行程為 10 毫米，并提供 5 N 的推力。 
      

      微型真空壓電 Z 軸平臺(tái)為低至 10-4 Pa 的高真空環(huán)境而設(shè)計(jì)。每個(gè)平臺(tái)都配有真空端電纜（PTFE 涂層電線，編織金屬套管），末端為 DB9 母頭。 每個(gè)平臺(tái)還配有空氣端 DB9 母頭轉(zhuǎn) ix-Industrial 接口的線纜。將真空端和空氣端線纜連接到 DB9 饋通接口，將空氣端的 ix-Industrial 連接器連接到控制器，即可開(kāi)始使用！ 
      

      模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容且可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平穩(wěn)的連續(xù)運(yùn)動(dòng)、快速的步進(jìn)和整定時(shí)間以及靜止時(shí)自鎖功能。
      

      

      

      

      特性
      

      

      ● 行程（Z）：10 mm
      

      ● 分辨率：2 nm
      

      ● 較小可移動(dòng)增量：2 nm
      

      ● 雙向重復(fù)性：± 100 nm （典型值@ 全行程）
      

      ● 推力/拉力：5 N （至少）
      

      ● 鎖止力（電源關(guān)閉時(shí)）：6 N（?。?/span>
      

      

      

      產(chǎn)品參數(shù)
      

      

      

      


      
 型號(hào) 
ELEVHV-5N

      

      
 定位 
 

      

      
  行程（Z） 
 10 mm 

      

      
  定位傳感器 
 光柵編碼器 

      

      
  分辨率 
 2 nm 

      

      
  較小運(yùn)動(dòng)增量 
 2 nm 

      

      
  雙向重復(fù)定位精度 
 ± 100 nm（典型值 @ 全行程） 

      

      
  直線度和平面度 
 ± 2 µm（典型值） 

      

      
  偏擺 Pitch 
 ± 150 µrad（典型值） 

      

      
  偏擺 Yaw 
 ± 150 µrad（典型值） 

      

      
 運(yùn)動(dòng)性能 
 

      

      
  較大推力/拉力 
 5 N（至少） 

      

      
  鎖止力（電源關(guān)閉時(shí)） 
 6 N（較小） 

      

      
  較大速度（空載時(shí)） 
 8 mm/s 

      

      
  較大速度（大作用力時(shí)） 
 5 mm/s（較?。?

      

      
 驅(qū)動(dòng)類型 
 

      

      
  電機(jī)驅(qū)動(dòng) 
 壓電驅(qū)動(dòng) 

      

      
 機(jī)械性能 
 

      

      
  較大負(fù)載 
 0.5 kg 

      

      
  鉸鏈模式 
 交叉滾柱軸承 

      

      
  尺寸 
 45 × 45 × 38 mm 

      

      
  重量（不包含電纜&連接器） 
 160 g（± 10 %） 

      

      
 其他 
 

      

      
  真空端電纜 
0.5 m 電纜 （± 5%）帶 f. DB9 連接器
      		

      

      
 空氣端電纜
2 m 電纜 （± 5%）帶 f. DB9 和 ix Industrial 連接器

      

      
  材質(zhì) 
 鋁 

      
      

      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

      

      
                        
      
                                                                        
      
                            
      產(chǎn)品參數(shù)
      
                                                        
      
                                
      
                                    
                                    
      
                                        參數(shù)/型號(hào)
                                        
                                                                                    行程 (Z) mm
                                                                                    分辨率 nm
                                                                                    較小可移動(dòng)增量  nm
                                                                                    雙向重復(fù)性 nm (typ. @  ± 5 mm travel)
                                                                                    偏擺 Pitch
                                                                                    偏擺 Yaw
                                                                                    推力/拉力 N
                                                                                    真空兼容性
                                                                            
      
                                          
                                    
                                                                            
      
                                            ELEVHV-5N
                                                                                            
      10
      		
                                                                                            
      2
      		
                                                                                            
      2
      		
                                                                                            
      ± 100
      		
                                                                                            
      ± 150
      		
                                                                                            
      ± 150
      		
                                                                                            
      5  (min.)
      		
                                                                                            
      10-6 mbar
      		
                                                                                    
      
                                                                              
                                
      

                            
      
                            
      
                                
                            
      
                                                    
      
                                                                        
      
                            
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                                            STEP Elevation
                                            
      
                                                
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                                                2025-10-14
                                            
      
                                            
      

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      產(chǎn)品中心
      

      

      
    
      
        
        
      
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