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顯微鏡電動模塊
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附件
控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
XVP
超聲壓電線性平臺
行程：50 mm
重量（平臺）：572 g
負載：＜1.5 kg，鎖止力：30 N
驅(qū)動力：30 N，導(dǎo)線長度：1.5 m
平臺材料：陽極氧化鋁
接頭：15 針 D-sub 接頭或者定制 LEMO 接頭
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
高負載Z軸平臺
XVP Z 軸平臺內(nèi)部有兩個超聲壓電電機，這可以確保電機本身能夠提供足夠大的推力而不需要彈簧來抵消重力，在這個基礎(chǔ)上，同時確保納米量級的分辨率，并完成快速定位。 平臺可以抬升 1.5 kg 的負載，并可以和其他平臺組成 XYZ 或者 XYZR 系統(tǒng)。為了避免誤解，平臺沒有 XY 方向的移動，只是為了完成Z軸方向的移動，水平方向的運動通過一個斜楔轉(zhuǎn)化到Z軸方向。 平臺斷電自鎖，因此散熱量大大減少，內(nèi)部集成編碼器，分辨率為 1 nm。
特性
● 驅(qū)動原理：Crossfixx 超聲壓電技術(shù)
● 軸承：高精度交叉滾珠軸承
● 壽命：運行距離大于 1000 km
機械特性
● 行程：50 mm
● 重量（平臺）：572 g
● 負載：＜1.5 kg
● 鎖止力：30 N
● 驅(qū)動力：30 N
● 平臺材料：陽極氧化鋁
● 導(dǎo)線長度：1.5 m
● 接頭：15 針 D-sub 接頭或者定制 LEMO 接頭
運動性能（閉環(huán)）
● 編碼器類型：請選擇編碼器分辨率
● 編碼器分辨率：1 nm
● 位置分辨率：25 nm
● 雙向重復(fù)精度：± 50 nm
● 較大速度：200 mm/s
● 較小速度：2 — 5 µm/s
● 速度穩(wěn)定性：± 1%
運動誤差
● 直線度/平面度誤差：± 5 — 10 µm 取決于平臺長度
選配
● 真空（10 -6 mbar）：-HV
● 短殼版有較大的行程：-SC
環(huán)境兼容性
● 溫度范圍：-30°C — +70°C
● 濕度范圍：20 % — 90 % 相對濕度
● 功耗（電機）：＜10 W
控制器/軟件
● 兼容 Xeryon 控制
● 簡單易用 Windows 軟件或者 LavView 驅(qū)動
● C++ 以及 Python libraries 提供
產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號 | 行程 (Z) mm | 分辨率 nm | 較小可移動增量 nm | 雙向重復(fù)性 nm (typ. @ ± 5 mm travel) | 偏擺 Pitch | 偏擺 Yaw | 推力/拉力 N | 真空兼容性 |
| XVP-80 | 10 |
1250 312 78 5 |
1250 312 80 50 |
2500 700 160 100 |
140 |
60 |
30 |
10-6 mbar 10-9 mbar |
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電話：021-52996090郵箱：[email protected]傳真：021-52996090
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