ELEV-5N

      納米分辨率垂直運(yùn)動平臺

      行程(Z):10 mm

      分辨率:2 nm

      較小可移動增量:2 nm

      雙向重復(fù)性:± 100 nm (典型值 @ ± 5 mm 行程)

      推力/拉力:5 N (至少)

      鎖止力(電源關(guān)閉時(shí)):6 N(?。?/span>

      產(chǎn)品描述

      產(chǎn)品參數(shù)

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      產(chǎn)品描述
      我們提供的 45 系列垂直升降臺特點(diǎn)為平整、占用空間僅為 45 × 45 毫米,垂直方向的行程為 10 毫米,可提供 5 N 的推力。
      模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容且可輕松組合成多軸系統(tǒng),提供平穩(wěn)的連續(xù)運(yùn)動、快速的步進(jìn)和整定時(shí)間以及靜止時(shí)自鎖功能。
      此款微型壓電 Z 軸平臺可垂直升降高達(dá) 1 公斤的重量,運(yùn)動平穩(wěn)連續(xù),靜止時(shí)可自鎖。
      平臺可通過控制器和軟件來輕松控制,C++ DLLs 方便軟件二次開發(fā)。
      特性
      行程(Z):10 mm
      分辨率:2 nm
      較小可移動增量:2 nm
      雙向重復(fù)性:± 100 nm (典型值 @ ± 5 mm 行程)
      推力/拉力:5 N(至少)
      鎖止力(電源關(guān)閉時(shí)):6 N(?。?/span>
      產(chǎn)品參數(shù)
      型號 ELEV-5N
      定位  
       行程(Z 10 mm
       定位傳感器 光柵編碼器
       分辨率 2 nm
       較小運(yùn)動增量 2 nm
       雙向重復(fù)定位精度 ± 100 nm(典型值 ± 5 mm 行程)
       直線度和平面度 ± 2 µm(典型值)
       偏擺 Pitch ± 150 µrad(典型值)
       偏擺 Yaw ± 150 µrad(典型值)
      運(yùn)動性能  
       較大推力/拉力 5 N(至少)
       鎖止力(電源關(guān)閉時(shí)) 6 N(?。?
       較大速度(空載時(shí)) 8 mm/s
       較大速度(大作用力時(shí)) 5 mm/s(小)
      驅(qū)動類型  
       電機(jī)驅(qū)動 壓電驅(qū)動
      機(jī)械性能  
       較大負(fù)載 0.5 kg
       鉸鏈模式 交叉滾柱軸承
       尺寸 45 × 45 × 38 mm
       重量(不包含電纜&連接器) 160 g(± 10 %
      其他  
       線纜 2 m 線纜(± 5 %ix Industrial 連接器
       材質(zhì)

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

      產(chǎn)品參數(shù)
      參數(shù)/型號 行程 (Z) mm 分辨率 nm 較小可移動增量 nm 雙向重復(fù)性 nm (typ. @ ± 5 mm travel) 偏擺 Pitch 偏擺 Yaw 推力/拉力 N 真空兼容性
      ELEV-5N
      10
      2
      2
      ± 100
      ± 150
      ± 150
      5  (min.)
      -
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      產(chǎn)品資料

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      219.78KB

      2025-10-14

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