納米定位傳感器

      納米傳感器是一種基于電容測微原理的非接觸式位置測量系統(tǒng),靈敏度高。其能夠分辨皮米,分辨率范圍可達1.25mm。平行板電容器由兩塊傳感器板(目標(biāo)和探針)構(gòu)成。

      Queensgate生產(chǎn)各種類型的納米定位傳感器:

      NX系列,全金屬結(jié)構(gòu),一般為鋁或超殷鋼材質(zhì)。亦可提供其他材質(zhì)以滿足客戶的具體需求,詳情請咨詢Queensgate。

      這些傳感器可使用Queensgate先進的模擬單通道控制器驅(qū)動。

      如有需要,可以生產(chǎn)定制的多通道系統(tǒng)以及定制的傳感頭設(shè)計。Queensgate已經(jīng)為晶圓步進和國際空間站中的應(yīng)用制造了眾多成功的定制系統(tǒng)。我們非常愿意與您探討您的具體要求。

      產(chǎn)品選型
      型號 圖片
      材料
      分辨率 mm
      線性誤差 %
      工作面積 mm2
      熱漂移 nm/K
      NX 系列
      鋁/超殷鋼
      1.25
      0.02
      NA.
      NA.
      NXB 系列
      鋁/超殷鋼
      NA.
      NA.
      22.5
      230/3
      NXC 系列
      鋁/超殷鋼
      NA.
      NA.
      113
      230/3
      NXD 系列
      鋁/超殷鋼
      NA.
      NA.
      282
      230/3

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