壓電偏擺臺(tái)

      微型壓電偏擺臺(tái)可沿 Z 軸、X 軸和 Y 軸以納米級(jí)精度移動(dòng)重達(dá) 2.5 kg? 的負(fù)載。

      模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容,可輕松組合成多軸系統(tǒng),提供平滑的連續(xù)運(yùn)動(dòng)、快速的步進(jìn)和整定時(shí)間,并帶有靜止自鎖功能。

      產(chǎn)品選型
      型號(hào) 圖片
      行程 (Z) mm
      行程 θ (XY) °
      較小可移動(dòng)增量 (Z) nm
      較小可移動(dòng)增量 θ (XY) μrad
      重復(fù)定位精度 (Z) nm
      重復(fù)定位精度 θ (XY) μrad
      大推力/拉力 N
      ZTT-15N
      ± 10
      ± 9
      2
      < 0.1
      ± 200
      ± 15
      (Z) 15 N (至少)
      ZTTHV-15N
      ± 10
      ± 9
      2
      < 0.1
      ± 200
      ± 15
      (Z) 15 N (至少)
      ZTT-30N
      ± 10
      ± 9
      2
      < 0.1
      ± 200
      ± 15
      (Z) 30 N
      ZTTHV-30N
      ± 10
      ± 9
      2
      < 0.1
      ± 200
      ± 15
      (Z) 30 N

      產(chǎn)品中心

      EN