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壓電XYR平臺
我們提供的微型壓電 XYR 平臺可沿著 X 軸和 Y 軸或者圍繞 Z 軸以納米級精度移動重達 2.5 kg 的負載。
模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容，可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平滑的連續(xù)運動、快速的步進和整定時間，并帶有靜止自鎖功能。
產(chǎn)品選型
| 型號 | 圖片 | 行程 (XY) mm |
行程 θ (Z) ° |
較小可移動增量 (XY) nm |
較小可移動增量 θ (Z) μrad |
重復定位精度 (XY) nm |
重復定位精度 θ (Z) μrad |
推力/拉力 N |
| XYR-8N |  |
± 10 |
± 10 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(X) 10 / (Y) 8 |
| XYRHV-8N |  |
± 10 |
± 10 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(X) 10 / (Y) 8 |
| XYR-16N |  |
± 10 |
± 10 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(X) 20 / (Y) 16 |
| XYRHV-16N |  |
± 10 |
± 10 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(X) 20 / (Y) 16 |
電話：021-52996090郵箱：[email protected]傳真：021-52996090
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產(chǎn)品中心
