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超聲壓電位移平臺(tái)

我們提供了一系列不同長(zhǎng)度的精密線性平臺(tái)，并提供不同的附加選擇。行程可以到達(dá) 100 mm，應(yīng)用方向廣泛。采用Crossfixx 超聲壓電技術(shù)，速度可以達(dá)到 200 mm/s。非常適合掃描應(yīng)用，提供恒定的掃描速度，誤差小于 2 %。

我們的平臺(tái)易于安裝和使用，將平臺(tái)和控制器連接可以非常簡(jiǎn)單的通過(guò)軟件控制平臺(tái)到達(dá)需要的位置。

根據(jù)不同的應(yīng)用，我們提供不同的平臺(tái)精度，從分辨率 1.25 um到 1 nm 可選。特殊的定制要求也可以滿(mǎn)足，如高真空環(huán)境，需要將平臺(tái)放置在 SEM 上使用，或者真空腔體之中，仍然能夠保持良好的性能。使用短殼版平臺(tái)，我們可以獲得較大的行程距離，使體積與行程比達(dá)到優(yōu)異。

我們的精密線性平臺(tái)通過(guò)超聲壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)，緊湊以及準(zhǔn)確的線性壓電平臺(tái)，易于安裝以及操作。

產(chǎn)品選型

型號(hào)	圖片	推力 N	行程 mm	負(fù)載 kg	分辨率 nm	重復(fù)精度 nm	精度 μm	速度
XLS-1		1	30、48	0.5 max.	1250 312 78 5	± 1250 ± 350 ± 80 ± 25	± 10 ± 5 ± 1 ± 1	2 — 5 μm/s Min. 200 mm/s Max.
XLS-3		3	30、48、69、109	1.5 max.	1250 312 78 5	± 1250 ± 350 ± 80 ± 50	± 10 ± 5 ± 1 ± 1	2 — 5 μm/s Min. 200 mm/s Max.
XLS-5		5	30、48、69、109	1.5 max.	1250 312 78	± 1250 ± 350 ± 80	± 10 ± 5 ± 1 ± 1	2 — 5 um/s Min. 200 mm/s Max.

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附件

微型運(yùn)動(dòng)控制

超聲壓電電機(jī) 超聲壓電推桿超聲壓電位移平臺(tái) 超聲壓電轉(zhuǎn)臺(tái) 壓電Z軸平臺(tái) 壓電XYR平臺(tái) 壓電推桿壓電偏擺臺(tái) 壓電六軸平臺(tái)