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                        XYRHV-16N
                    
      
                    
      
                        
      
                            
      
                                
      
                                    
        
                                            
                                                                                    
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      XYRHV-16N
      
                            
      微型真空壓電XYR平臺
      
                            
      
                                                                    
      行程（XY）：± 10 mm
      
                                                                    
      行程 θ（Z）：± 10 °
      
                                                                    
      較小可移動增量 (XY)：2 nm
      
                                                                    
      較小可移動增量 θ (Z)：＜ 0.1 μrad
      
                                                                    
      重復(fù)性 (XY)：± 200 nm
      
                                                                    
      重復(fù)性 θ (Z)：± 15 μrad
      
                                                                    
      推力/拉力：(X) 20 N /(Y) 16 N (至少)
      
                                                                    
      鎖止力（電源關(guān)閉時(shí)）：(X) 24 N /(Y) 20 N
      
                                                            
      
                        
      
                    
      

                
      
            
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                                                        
      產(chǎn)品描述
      
                                                                                    
      產(chǎn)品參數(shù)
      
                                                                                    
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      產(chǎn)品描述
      
                            
      

      

      微型真空壓電 XYR HV 平臺可在低至 10 — 4 Pa 的真空環(huán)境下，沿 X 軸、Y 軸以及圍繞 Z 軸以納米級精度移動高達(dá) 10 kg 的負(fù)載。此系列包含標(biāo)準(zhǔn)版和高真空版兩個(gè)版本。
      

      微型真空壓電 XYR HV 平臺為低至 100 — 4 Pa 的高真空環(huán)境而設(shè)計(jì)。每個(gè)平臺均配備真空端線纜（PTFE 涂層電線，編織金屬套管），末端為 DB9 母頭。
      

      此外每個(gè)平臺還配有空氣端母頭 DB9 轉(zhuǎn) ix-Industrial 接口的線纜。將真空端和空氣端線纜連接到 DB9 饋通接口，將空氣端的 ix-Industrial 連接器連接到控制器，即可開始使用了！
      

      模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容且可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平穩(wěn)的連續(xù)運(yùn)動、快速的步進(jìn)和整定時(shí)間以及靜止時(shí)自鎖功能。
      

      

      

      

      

      特性
      

      

      

      ● 行程 (XY)：± 10 mm
      

      ● 行程 θ (Z)：± 10 °
      

      ● 較小可移動增量 (XY)：2 nm
      

      ● 較小可移動增量 θ (Z)：＜ 0.1 µrad
      

      ● 重復(fù)性 (XY)：± 200 nm
      

      ● 重復(fù)性 θ (Z)：± 15 µrad
      

      ● 推力/拉力：(X) 20 N / (Y) 16 N (至少)
      

      ● 鎖止力（電源關(guān)閉時(shí)）：(X) 24 N / (Y) 20 N
      

      

      產(chǎn)品參數(shù)
      

      

      

      


      
 型號 
XYRHV-16N

      

      
 定位 
 

      

      
  行程（XY）
± 10 mm

      

      
 行程 θ（Z）
± 10 °

      

      
  較小運(yùn)動增量 (XY)
 2 nm 

      

      
 較小運(yùn)動增量 θ (Z)
＜ 0.1 µrad

      

      
  重復(fù)性 (XY) 
± 200 nm

      

      
  重復(fù)性 θ (Z) 
± 15 µrad

      

      
 運(yùn)動性能 
 

      

      
  推力/拉力
(X) 20 N / (Y) 16 N (至少)

      

      
  鎖止力（電源關(guān)閉時(shí)）
(X) 24 N / (Y) 20 N

      

      
  空載時(shí)的大速度(XY)
8 mm/s

      

      
  大推力/拉力時(shí)的大速度
 ＞ 1 mm/s

      

      
 驅(qū)動類型 
 

      

      
  基本模塊
PRECIBEO GO LS4545 線性平臺

      

      
 機(jī)械性能 
 

      

      
  頂部負(fù)載
 10 kg 

      

      
  直徑
 165 mm

      

      
  高度
73.5 mm

      

      
 其他 
 

      

      
  真空端線纜
3 根 1 m 線纜 (± 5 %) 帶 f. DB9 和 ix Industrial 連接器

      

      
 空氣端線纜
3 根 2 m 線纜 (± 5 %) 帶 f. DB9 和 ix Industrial 連接器

      

      
  材質(zhì) 
陽極氧化鋁

      
      

      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

      

      
                        
      
                                                                        
      
                            
      產(chǎn)品參數(shù)
      
                                                        
      
                                
      
                                    
                                    
      
                                        參數(shù)/型號
                                        
                                                                                    行程（XY）mm
                                                                                    行程 θ （Z））°
                                                                                    較小可移動增量（XY）nm
                                                                                    較小可移動增量 θ（Z）μrad
                                                                                    重復(fù)定位精度（XY）nm
                                                                                    重復(fù)定位精度  θ （Z）μrad
                                                                                    推力/拉力 N
                                                                            
      
                                          
                                    
                                                                            
      
                                            XYR-16N
                                                                                            
      ± 10
      		
                                                                                            
      ± 10
      		
                                                                                            
      2
      		
                                                                                            
      ＜ 0.1
      		
                                                                                            
      ± 200
      		
                                                                                            
      ± 15
      		
                                                                                            
      (X) 20 / (Y) 16
      		
                                                                                    
      
                                                                              
                                
      

                            
      
                            
      
                                
                            
      
                                                    
      
                                                                        
      
                            
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      產(chǎn)品資料
      
                                                                                                                    
      
                                            Technical Drawing GO XYR HV
                                            
      
                                                
                                                326.55KB
                                            
      
                                            
      
                                                
                                                2025-10-13
                                            
      
                                            
      

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                                            STEP GO XYR HV
                                            
      
                                                
                                                1.20MB
                                            
      
                                            
      
                                                
                                                2025-10-14
                                            
      
                                            
      

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      3D模型文件
      
                                                                                                                    
      
                                            STEP GO XYR HV
                                            
      
                                                
                                                1.20MB
                                            
      
                                            
      
                                                
                                                2025-10-31
                                            
      
                                            
      

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      產(chǎn)品中心
      

      

      
    
      
        
        
      
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