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微型真空壓電偏擺臺可沿 Z 軸，圍繞 X 軸和 Y 軸以納米級精度移動重達 2.5 kg的負載。
模塊化系統(tǒng)中的所有產品均互相兼容，并可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平穩(wěn)的連續(xù)運動、快速的步進和整定時間，以及靜止自鎖功能。
TipTilt 微型真空壓電偏擺臺基于精準而強大的 GO 平臺，這使得該平臺可承載重達 2.5 kg的負載，并具有靜止自鎖功能。
平臺還可通過控制器和應用程序軟件輕松控制，C++ DLL 可實現軟件二次開發(fā)。
特性
● 行程 (Z)：± 10 mm
● 行程 θ (XY)：± 9°
● 較小可移動增量 (Z)：2 nm
● 較小可移動增量 θ (XY)：＜ 0.1 µrad
● 重復定位精度 (Z)：± 200 nm
● 重復定位精度 θ (Z)：± 15 µrad
● 推力/拉力：(Z) 30 N
● 鎖止力 (電源關閉時)：(Z) 33 N
產品參數
| 型號 | ZTTHV-30N |
| 定位 | |
| 行程 (Z) | ± 10 mm |
| 行程 θ (XY) | ± 9 ° |
| 較小運動增量 (Z) | 2 nm |
| 較小運動增量 θ (XY) | ＜ 0.1 µrad |
| 重復定位精度 (Z) | ± 200 nm |
| 重復定位精度 θ (XY) | ± 15 µrad |
| 運動性能 | |
| 大推力/拉力 (Z) | 30 N |
| 鎖止力 (電源關閉時) (Z) | 33 N |
| 空載時的大速度 (Z) | 8 mm/s |
| 大負載時的速度 (Z) | ＞ 1 mm/s |
| 驅動類型 | |
| 基本模塊 | PRECIBEO GO LS4545 線性平臺 |
| 機械性能 | |
| 頂部負載 | 2.5 kg |
| 直徑 | 150 mm |
| 高度 | 92 mm |
| 其他 | |
| 真空側線纜 | 3 根 1 m 線纜 (± 5 %) 帶 f. DB9 連接器 |
| 空氣側線纜 | 3 根 2 m 線纜 (± 5 %) 帶 f. DB9 ＆ ix Industrial 連接器 |
| 材質 | 鋁 |
產品參數
| 參數/型號 | 行程 (Z) mm | 行程 θ (XY) ° | 較小可移動增量 (Z) nm | 較小可移動增量 θ (XY) μrad | 重復定位精度 (Z) nm | 重復定位精度 θ (XY) μrad | 大推力/拉力 N |
| ZTTHV-30N | ± 10 |
± 9 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(Z) 30 N |
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