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顯微鏡電動(dòng)模塊
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微型運(yùn)動(dòng)控制
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隔振平臺(tái)
隔振平臺(tái) -
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控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
NX 系列
納米傳感器
亞納米級(jí)定位分辨率
零滯后，線性誤差低至 0.02 %
帶寬高達(dá) 10 kHz，高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)
超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷材質(zhì)可選
UHV、輻射、低溫、無(wú)磁性等衍生型
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
納米位置傳感器-納米傳感器用于極限位置監(jiān)控
NanoSensor 是一種基于電容測(cè)微原理的非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng)。兩塊傳感器板，一個(gè)目標(biāo)和一個(gè)探針，即可構(gòu)成一個(gè)平行板電容器。
兩塊板的間距可以用適當(dāng)?shù)碾娮涌刂破鳒y(cè)量，分辨率超過(guò) 7 pm，范圍可達(dá) 1.25 mm，頻率響應(yīng)可達(dá) 10 KHz，線性度低至 0.02 %。由于納米傳感器是一種非接觸式方案，因此沒(méi)有滯后現(xiàn)象。測(cè)量點(diǎn)沒(méi)有功率損耗。
特性
● 亞納米級(jí)定位分辨率
● 零滯后，線性誤差低至 0.02 %
● 帶寬高達(dá) 10 kHz，高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)
● 超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷材質(zhì)可選
● UHV、輻射、低溫、無(wú)磁性等衍生型
應(yīng)用
● 精密制造
● 計(jì)量
● 形變測(cè)量
● 應(yīng)變測(cè)量（用于空間站機(jī)械臂和機(jī)械手）
● 平臺(tái)控制
● 材料檢測(cè)
● 顯微鏡
● 主動(dòng)光學(xué)
● 精密光束控制
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產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號(hào) | 材料 | 分辨率 mm | 線性誤差 % | Active area mm2 | 熱漂移nm K |
| NX 系列 | 鋁/超殷鋼 |
1.25 |
0.02 |
NA. |
NA. |
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電話：021-52996090郵箱：[email protected]傳真：021-52996090
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