NPS-X-28C

      納米定位臺

      >28 μm行程,亞納米級分辨率

      一階諧振頻率>4.5 KHz

      帶寬高達(dá) 2 KHz

      原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化

      生產(chǎn)測試穩(wěn)健可靠

      即插即用設(shè)備,停機(jī)時間短

      產(chǎn)品描述

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      產(chǎn)品描述
      NPS-X-28C 最初是為高速、超精密磁阻磁頭和磁盤驅(qū)動器檢測而開發(fā)的。它的小尺寸和毫秒級響應(yīng)時間非常適合用于要求高可靠性和通量的應(yīng)用。低運動質(zhì)量和高剛性的結(jié)合可提供較高的帶寬。
      電容式傳感器設(shè)計能夠在超過 28 微米的范圍內(nèi)提供亞納米級位移測量和閉環(huán)反饋。柔性鉸鏈導(dǎo)向可實現(xiàn)高純度的運動。使用的數(shù)字閉環(huán)控制器,NPS-X-28C 可實現(xiàn)毫秒級的響應(yīng)和穩(wěn)定時間。
      特性
      28 μm 行程,亞納米級分辨率
      一階諧振頻率 >4.5 KHz
      帶寬高達(dá) 2 KHz
      原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
      生產(chǎn)測試穩(wěn)健可靠
      即插即用設(shè)備,停機(jī)時間短
      應(yīng)用
      磁阻磁頭和磁盤驅(qū)動器檢測
      干涉測量
      計量
      AFM Z
      推薦控制器
      NPC-D-5200 NPC-D-6330 系列控制器為控制納米精密裝置而設(shè)計。它們使用現(xiàn)代 DSP 技術(shù)并結(jié)合了壓電驅(qū)動放大器、電容位置傳感電路和伺服控制能力。PID(比例、積分、微分)反饋算法的使用大大優(yōu)化了穩(wěn)定時間并較大限度的降低了機(jī)械共振的影響。軟件可幫助用戶控制大多數(shù)運行參數(shù),包括 PID 環(huán)路構(gòu)建。
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      產(chǎn)品參數(shù)
      參數(shù)/型號 方向 材料 行程 μm 負(fù)載 kg 線性誤差 % 重復(fù)定位精度 nm
      NPS-X-28C
      X
      鈦合金
      28
      10
      <0.007
      NA.
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