NPS-X-15A

      薄型快速15微米級(jí)

      >15 微米行程,亞納米級(jí)分辨率

      一階諧振頻率>3 KHz,4 kHz NPS-X-15D

      毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間,50 g 負(fù)載

      原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化

      生產(chǎn)測(cè)試穩(wěn)健可靠

      即插即用設(shè)備,停機(jī)時(shí)間短

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      產(chǎn)品描述
      NPS-X-15A 薄型快速 15 微米平臺(tái)最初是為高速、超精密磁阻磁頭和磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器檢測(cè)而設(shè)計(jì)的。
      它的小尺寸和毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間,使其非常適合高可靠性和高通量的應(yīng)用。低運(yùn)動(dòng)質(zhì)量和高剛性的結(jié)合可提供高帶寬。緊湊的內(nèi)置電容式傳感器,能夠在超過(guò) 16 微米的位移范圍內(nèi)提供亞納米級(jí)閉環(huán)反饋。柔性鉸鏈導(dǎo)向可實(shí)現(xiàn)高純度的運(yùn)動(dòng),將寄生運(yùn)動(dòng)降低至 1 微弧度(典型值)。使用數(shù)字閉環(huán)控制器,NPS-X-15A (不銹鋼)可實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)的響應(yīng)和穩(wěn)定時(shí)間。
      ?特性
      15 微米行程,亞納米級(jí)分辨率
      一階諧振頻率 >3 KHz,4 kHz (NPS-X-15D
      毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間,50 g 負(fù)載
      原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
      生產(chǎn)測(cè)試穩(wěn)健可靠
      即插即用設(shè)備,停機(jī)時(shí)間短
      應(yīng)用
      磁阻磁頭和磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器檢測(cè)
      干涉測(cè)量
      計(jì)量
      AFM 探針?
      推薦控制器
      NPC-D-5200 數(shù)字控制器
      NPC-D-6000 系列
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      產(chǎn)品參數(shù)
      參數(shù)/型號(hào) 方向 材料 行程 μm 負(fù)載 kg 線性誤差 % 重復(fù)定位精度 nm
      NPS-X-15A
      X
      不銹鋼
      15
      3
      0.005
      NA.
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      產(chǎn)品資料

      軟件以及二次開(kāi)發(fā)

      Nanobench 1.4.4.1

      22.10MB

      2025-10-31

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      Nanobench 2.7.9API

      39.05MB

      2025-10-31

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