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顯微鏡電動(dòng)模塊
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超聲壓電電機(jī) 超聲壓電推桿 超聲壓電位移平臺(tái) 超聲壓電轉(zhuǎn)臺(tái) 壓電Z軸平臺(tái) 壓電XYR平臺(tái) 壓電推桿 壓電偏擺臺(tái) 壓電六軸平臺(tái) -
納米定位系統(tǒng)
壓電定位平臺(tái) 納米定位傳感器 納米促動(dòng)器 -
電動(dòng)位移平臺(tái)
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隔振平臺(tái)
隔振平臺(tái) -
附件
控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
H105F
行程 154 × 154 mm
±0.7 μm重復(fù)定位精度，0.04 μm分辨率，
具有位點(diǎn)存儲(chǔ)的能力供以后檢查和分析
IST技術(shù)加持以及平臺(tái)掃描系統(tǒng)
帶有可調(diào)限位開關(guān)的防反沖機(jī)制
可升級(jí)光柵編碼器，提升準(zhǔn)確性
多功能：可以使用ProScan 3 控制器
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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相關(guān)附件
產(chǎn)品描述
ProScan H105F 電動(dòng) XY 載物臺(tái)為正置顯微鏡打造，憑借出色的適配特性，既能輕松集成到現(xiàn)有的顯微鏡系統(tǒng)中，無縫提升系統(tǒng)性能，又能為原始設(shè)備制造商（OEM）在搭建定制系統(tǒng)時(shí)，提供便捷、可靠的解決方案，助力打造功能卓越的顯微設(shè)備。
H105F 具有 154 × 154 mm 行程，配備了 2 mm 的滾珠絲杠和 200 步的電機(jī)實(shí)現(xiàn)速度與分辨率的優(yōu)異平衡。H105F 不僅能提供亞微米級(jí)的重復(fù)精度，還能實(shí)現(xiàn)高達(dá) 40 mm/s 的運(yùn)行速度，兼顧提升效率與精準(zhǔn)。
H105F 采用了 IST 智能掃描技術(shù)，以提高精度和線性度。此外，可額外選配 0.1 μm 線性編碼器，用以提升長距離運(yùn)行時(shí)的重復(fù)精度。
H105F 為 H105A 的升級(jí)版，其平頂化設(shè)計(jì)便于放置樣品，并且確保了與多種光學(xué)器件的兼容性。在實(shí)際應(yīng)用場景中，它能夠可靠且準(zhǔn)確地掃描工業(yè)樣品，適用于掃描 6 英寸晶圓及其他工業(yè)樣品。
一、操作簡單易上手
通過H105F 電動(dòng)XY平臺(tái)，用戶可輕松實(shí)現(xiàn)樣品的自動(dòng)掃描，只需在操作軟件中簡單設(shè)置，平臺(tái)就能按照預(yù)設(shè)指令，快速且精準(zhǔn)地對(duì)樣品進(jìn)行全方位掃描。不僅如此，它還擁有強(qiáng)大的位置信息存儲(chǔ)功能，用戶可將關(guān)鍵的位置點(diǎn)保存下來，方便后續(xù)隨時(shí)回溯和檢查，確保每次實(shí)驗(yàn)都能保持優(yōu)異的重復(fù)性，提高了實(shí)驗(yàn)效率。
二、自定義掃描路徑
在實(shí)際檢測過程中，不同的樣品和檢測目的需要不同的掃描方式。H105F 充分考慮到這一點(diǎn)，為用戶提供了多樣的掃描路徑選擇。它既可以按照之字形路線進(jìn)行掃描，確保全面覆蓋樣品區(qū)域；也能以蛇形路線穿梭，在提高掃描效率的同時(shí)，確保細(xì)節(jié)不被遺漏；甚至還能根據(jù)特殊需求，規(guī)劃隨機(jī)路線，滿足一些獨(dú)特的檢測場景。
三、IST智能掃描技術(shù)
IST 智能掃描技術(shù)通過集成誤差補(bǔ)償機(jī)制提高載物臺(tái)定位精度。在以往使用電動(dòng)載物臺(tái)的過程中可能會(huì)出現(xiàn)以下問題：
● 電機(jī)驅(qū)動(dòng)誤差導(dǎo)致目標(biāo)位置與實(shí)際位置偏差
● X/Y 軸正交性不完美引發(fā)耦合誤差
● 溫濕度變化使校準(zhǔn)數(shù)據(jù)失效
● 顯微鏡更換不同載物臺(tái)之后需要重新校準(zhǔn)
IST校準(zhǔn)過程
● 手動(dòng)輸入系統(tǒng)參數(shù)（物鏡倍數(shù)、環(huán)境溫度等）
● 自動(dòng)或手動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)至網(wǎng)格交點(diǎn)，記錄電機(jī)坐標(biāo)與實(shí)際位置偏差
● 生成誤差表并存儲(chǔ)于載物臺(tái)內(nèi)部存儲(chǔ)器
● 運(yùn)動(dòng)過程中控制軟件實(shí)時(shí)讀取誤差表，修正電機(jī)指令
● 可支持多環(huán)境誤差表（如不同溫度），適應(yīng)動(dòng)態(tài)條件
IST智能掃描技術(shù)優(yōu)勢
● 即插即用：誤差表儲(chǔ)存載物臺(tái)內(nèi)部，跨系統(tǒng)無需重新校準(zhǔn)
● 高精度定位：通過網(wǎng)格交點(diǎn)檢測提升正交性（誤差＜5 角秒）
● 環(huán)境適應(yīng)性：支持多條件誤差補(bǔ)償，長期保持精度
四、廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域
生物醫(yī)藥領(lǐng)域 —— 在細(xì)胞研究、藥物研發(fā)等實(shí)驗(yàn)中，需要對(duì)生物樣本進(jìn)行高精度的觀察和分析。可配合顯微鏡，精準(zhǔn)掃描細(xì)胞樣本，幫助科研人員捕捉細(xì)胞的細(xì)微變化，為藥物研發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。
病理學(xué)領(lǐng)域 —— 病理切片的檢測對(duì)精度要求較高。能快速、準(zhǔn)確地掃描病理切片，幫助醫(yī)生清晰地觀察病變組織，提高病理診斷的準(zhǔn)確性。
半導(dǎo)體領(lǐng)域 —— 半導(dǎo)體晶圓的檢測關(guān)乎芯片的質(zhì)量和性能。憑借其高精度和多樣的掃描路徑，能夠?qū)A表面進(jìn)行全面檢測，及時(shí)發(fā)現(xiàn)微小的缺陷和瑕疵。
電子電路領(lǐng)域 —— 在電子電路的研發(fā)和生產(chǎn)過程中，需要對(duì)電路板進(jìn)行精細(xì)檢測。可實(shí)現(xiàn)對(duì)電路板的快速掃描，檢測電路的連通性和元件的質(zhì)量。
金相及汽車清潔度領(lǐng)域 —— 對(duì)于金相樣品的分析以及汽車零部件清潔度的檢測， 都能發(fā)揮重要作用，幫助工程師準(zhǔn)確評(píng)估材料性能和產(chǎn)品質(zhì)量。
五、卓越的兼容性及適配性
H105F XY 電動(dòng)平臺(tái)具備出色的通用性，能適配大多數(shù)顯微鏡或光學(xué)系統(tǒng)，可與奧林巴斯、尼康、蔡司、徠卡、明治、麥克奧迪、舜禹等眾多知名顯微鏡品牌完美匹配，為用戶解決設(shè)備適配的后顧之憂。H105F 不僅可以對(duì)現(xiàn)有的顯微鏡系統(tǒng)進(jìn)行電動(dòng)化升級(jí)，也可用于 OEM 光路系統(tǒng)搭建，為您的科研和檢測工作提供穩(wěn)定的支持。
六、型號(hào)說明
產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號(hào) | 行程 mm | 重復(fù)精度 μm | 分辨率 μm | 速度 mm/s | 負(fù)載 kg | 編碼器精度 μm | 螺距 mm |
| H105N2F | 154 × 154 |
± 0.7 |
0.04 |
24 |
No |
No |
2 |
| HE05E2F | 154 × 154 |
± 0.7 |
0.04 |
24 |
No |
0.1 |
2 |
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