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H105

行程 154 × 154 mm

可選100 nm線性刻度提供高精度

分辨率0.04 μm

階段定制適合各種正置的顯微鏡或光學系統(tǒng)

閉環(huán)功能，可選旋轉或線性編碼器

ProScan III 控制系統(tǒng)

產品描述

產品參數

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產品描述

ProScan H105 電動 XY 載物臺為正置顯微鏡打造，憑借出色的適配特性，既能輕松集成到現有的顯微鏡系統(tǒng)中，無縫提升系統(tǒng)性能，又能為原始設備制造商（OEM）在搭建定制系統(tǒng)時，提供便捷、可靠的解決方案，助力打造功能卓越的顯微設備。

H105 載物臺的行程為 154 × 154 mm，用于 6 英寸晶圓檢測成像，配備了 2 mm 滾珠絲杠以及 200 步的電機。H105 不僅能提供亞微米級的重復精度，還能實現高達 60 mm/s 的運行速度，兼顧提升效率與精準。

H105 載物臺采用了IST智能掃描技術，優(yōu)化了載物臺的精度、線性度和其他性能特征，能夠可靠且精準地對工業(yè)樣品進行掃描。此外，可額外選配 0.1 μm 線性編碼器，用以提升長距離運行時的重復精度。

一、操作簡單易上手

通過H105 電動 XY 平臺，用戶可輕松實現樣品的自動掃描，只需在操作軟件中簡單設置，平臺就能按照預設指令，快速且精準地對樣品進行全方位掃描。不僅如此，它還擁有強大的位置信息存儲功能，用戶可將關鍵的位置點保存下來，方便后續(xù)隨時回溯和檢查，確保每次實驗都能保持優(yōu)異的重復性，提高了實驗效率。

二、自定義掃描路徑

在實際檢測過程中，不同的樣品和檢測目的需要不同的掃描方式。H105 充分考慮到這一點，為用戶提供了多樣的掃描路徑選擇。它既可以按照之字形路線進行掃描，確保全面覆蓋樣品區(qū)域；也能以蛇形路線穿梭，在提高掃描效率的同時，確保細節(jié)不被遺漏；甚至還能根據特殊需求，規(guī)劃隨機路線，滿足一些獨特的檢測場景。

三、IST智能掃描技術

IST 智能掃描技術通過集成誤差補償機制提高載物臺定位精度。在以往使用電動載物臺的過程中可能會出現以下問題：

● 電機驅動誤差導致目標位置與實際位置偏差

● X/Y 軸正交性不完美引發(fā)耦合誤差

● 溫濕度變化使校準數據失效

● 顯微鏡更換不同載物臺之后需要重新校準

IST校準過程

● 手動輸入系統(tǒng)參數（物鏡倍數、環(huán)境溫度等）

● 自動或手動移動載物臺至網格交點，記錄電機坐標與實際位置偏差

● 生成誤差表并存儲于載物臺內部存儲器

● 運動過程中控制軟件實時讀取誤差表，修正電機指令

● 可支持多環(huán)境誤差表（如不同溫度），適應動態(tài)條件

IST智能掃描技術優(yōu)勢

● 即插即用：誤差表儲存載物臺內部，跨系統(tǒng)無需重新校準

● 高精度定位：通過網格交點檢測提升正交性（誤差＜5 角秒）

● 環(huán)境適應性：支持多條件誤差補償，長期保持精度

四、廣泛的應用領域

生物醫(yī)藥領域 —— 在細胞研究、藥物研發(fā)等實驗中，需要對生物樣本進行高精度的觀察和分析?？膳浜巷@微鏡，精準掃描細胞樣本，幫助科研人員捕捉細胞的細微變化，為藥物研發(fā)提供關鍵數據支持。

病理學領域 —— 病理切片的檢測對精度要求較高。能快速、準確地掃描病理切片，幫助醫(yī)生清晰地觀察病變組織，提高病理診斷的準確性。

半導體領域 —— 半導體晶圓的檢測關乎芯片的質量和性能。憑借其高精度和多樣的掃描路徑，能夠對晶圓表面進行全面檢測，及時發(fā)現微小的缺陷和瑕疵。

電子電路領域 —— 在電子電路的研發(fā)和生產過程中，需要對電路板進行精細檢測。可實現對電路板的快速掃描，檢測電路的連通性和元件的質量。

金相及汽車清潔度領域 —— 對于金相樣品的分析以及汽車零部件清潔度的檢測，都能發(fā)揮重要作用，幫助工程師準確評估材料性能和產品質量。

五、卓越的兼容性及適配性

H105 XY 電動平臺具備出色的通用性，能適配大多數顯微鏡或光學系統(tǒng)，可與奧林巴斯、尼康、蔡司、徠卡、明治、麥克奧迪、舜禹等眾多知名顯微鏡品牌完美匹配，為用戶解決設備適配的后顧之憂。H105 不僅可以對現有的顯微鏡系統(tǒng)進行電動化升級，也可用于 OEM 光路系統(tǒng)搭建，為您的科研和檢測工作提供穩(wěn)定的支持。

六、型號說明

產品參數

參數/型號	行程 mm	重復精度 μm	分辨率 μm	速度 mm/s	負載 kg	編碼器精度 μm	螺距 mm
H105/2	154 × 154	＜1	0.04	60	10	No	2
HE05/2	154 × 154	＜0.9	0.1	60	10	0.1	2
H105NL/2	154 × 154	＜1	0.04	60	10	No	2
HE05NL/2	154 × 154	＜1	0.04	60	10	0.1	2