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控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
H116SPN
行程 250 × 210 mm
行程 250 × 210 mm
分辨率 0.04 μm
重復定位精度 ± 0.2 μm
自動裝載晶圓
兼容尼康以及奧林巴斯晶圓搬送機
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
ProScan H116SPN 電動 XY 載物臺的電動平移臺為晶圓檢測而設(shè)計，可搭配尼康或奧林巴斯晶圓處理系統(tǒng)使用。該平移臺還能減少操作人員的失誤和疲勞，同時提高晶圓檢測的速度。
H116SPN 具有 250 × 210 mm 的行程，配備了 2 mm 的滾珠絲杠和 200 步的電機，實現(xiàn)速度與分辨率的優(yōu)異平衡。不僅能提供亞微米級的重復精度，還能實現(xiàn)高達 40 mm/s 的運行速度，兼顧提升效率與精準。
H116SPN 載物臺具備 IST 智能掃描技術(shù)，具有出色的重復定位精度和分辨率，確保掃描的準確性和線性度，最終實現(xiàn)高質(zhì)量的晶圓檢測流程。
在實際應(yīng)用場景中，H116SPN 型號能夠自動裝載和卸載晶圓。在運行時，穿梭機構(gòu)會自動移動到正確的裝載位置，并啟動裝載器開關(guān)，告知裝載器晶圓吸盤已準備好接收晶圓。晶圓轉(zhuǎn)移到平移臺上后，穿梭機構(gòu)會縮回，以便進行檢測。既可以使用操縱桿進行手動檢測，也可以按照預先編程的檢測模式進行檢測。
一、操作簡單易上手
通過 H116SPN 電動 XY 平臺，用戶可輕松實現(xiàn)樣品的自動掃描，只需在操作軟件中簡單設(shè)置，平臺就能按照預設(shè)指令，快速且精準地對樣品進行全方位掃描。不僅如此，它還擁有強大的位置信息存儲功能，用戶可將關(guān)鍵的位置點保存下來，方便后續(xù)隨時回溯和檢查，確保每次實驗都能保持優(yōu)異的重復性，提高了實驗效率。
二、自定義掃描路徑
在實際檢測過程中，不同的樣品和檢測目的需要不同的掃描方式。H116SPN 充分考慮到這一點，為用戶提供了多樣的掃描路徑選擇。它既可以按照之字形路線進行掃描，確保全面覆蓋樣品區(qū)域；也能以蛇形路線穿梭，在提高掃描效率的同時，確保細節(jié)不被遺漏；甚至還能根據(jù)特殊需求，規(guī)劃隨機路線，滿足一些獨特的檢測場景。
三、IST智能掃描技術(shù)
IST 智能掃描技術(shù)通過集成誤差補償機制提高載物臺定位精度。在以往使用電動載物臺的過程中可能會出現(xiàn)以下問題：
● 電機驅(qū)動誤差導致目標位置與實際位置偏差
● X/Y 軸正交性不完美引發(fā)耦合誤差
● 溫濕度變化使校準數(shù)據(jù)失效
● 顯微鏡更換不同載物臺之后需要重新校準
IST校準過程
● 手動輸入系統(tǒng)參數(shù)（物鏡倍數(shù)、環(huán)境溫度等）
● 自動或手動移動載物臺至網(wǎng)格交點，記錄電機坐標與實際位置偏差
● 生成誤差表并存儲于載物臺內(nèi)部存儲器
● 運動過程中控制軟件實時讀取誤差表，修正電機指令
● 可支持多環(huán)境誤差表（如不同溫度），適應(yīng)動態(tài)條件
IST智能掃描技術(shù)優(yōu)勢
● 即插即用：誤差表儲存載物臺內(nèi)部，跨系統(tǒng)無需重新校準
● 高精度定位：通過網(wǎng)格交點檢測提升正交性（誤差＜5 角秒）
● 環(huán)境適應(yīng)性：支持多條件誤差補償，長期保持精度
四、廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域
生物醫(yī)藥領(lǐng)域 —— 在細胞研究、藥物研發(fā)等實驗中，需要對生物樣本進行高精度的觀察和分析。可配合顯微鏡，精準掃描細胞樣本，幫助科研人員捕捉細胞的細微變化，為藥物研發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。
病理學領(lǐng)域 —— 病理切片的檢測對精度要求較高。能快速、準確地掃描病理切片，幫助醫(yī)生清晰地觀察病變組織，提高病理診斷的準確性。
半導體領(lǐng)域 —— 半導體晶圓的檢測關(guān)乎芯片的質(zhì)量和性能。憑借其高精度和多樣的掃描路徑，能夠?qū)A表面進行全面檢測，及時發(fā)現(xiàn)微小的缺陷和瑕疵。
電子電路領(lǐng)域 —— 在電子電路的研發(fā)和生產(chǎn)過程中，需要對電路板進行精細檢測。可實現(xiàn)對電路板的快速掃描，檢測電路的連通性和元件的質(zhì)量。
金相及汽車清潔度領(lǐng)域 —— 對于金相樣品的分析以及汽車零部件清潔度的檢測， 都能發(fā)揮重要作用，幫助工程師準確評估材料性能和產(chǎn)品質(zhì)量。
五、卓越的兼容性及適配性
H116SPN XY 電動平臺具備出色的通用性，能適配大多數(shù)顯微鏡或光學系統(tǒng)，可與奧林巴斯、尼康、蔡司、徠卡、明治、麥克奧迪、舜禹等眾多知名顯微鏡品牌完美匹配，為用戶解決設(shè)備適配的后顧之憂。 H116SPN 不僅可以對現(xiàn)有的顯微鏡系統(tǒng)進行電動化升級，也可用于 OEM 光路系統(tǒng)搭建，為您的科研和檢測工作提供穩(wěn)定的支持。
產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號 | 行程 mm | 重復精度 μm | 分辨率 μm | 速度 mm/s | 負載 kg | 編碼器精度 μm | 螺距 mm |
| H116SPN | 250 × 210 |
± 0.2 |
0.04 |
40 |
No |
No |
2 |
| HWL6AL12 | 250 × 210 |
± 0.2 |
0.04 |
40 |
No |
No |
2 |
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