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NPS-XYZ-100D-20H
三軸壓電驅(qū)動平臺
XY 軸行程為 100 微米
Z 軸行程為 20 微米
XY 軸分辨率為 0.25 納米
Z 軸分辨率為 0.085 納米
XY 和 Z 軸的可重復性為 0.5 納米
即插即用，控制器可替換使用，減少系統(tǒng)停機時間
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
三軸壓電驅(qū)動 柔性鉸鏈導向平臺
NPS-XYZ-100D-20H 平臺搭載 Queensgate 的 NanoMechanism 技術，XY 軸的行程為 100 × 100 微米，Z 軸為 20 微米。
平臺的柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)確保 XY 軸平臺在在整個 100 微米范圍內(nèi)運動時俯仰和偏航時小于 25 微弧度。
集成的電容式定位傳感器具備亞納米分辨率。
NPS-XYZ-100D-20H 材質(zhì)為鋁。
當載物臺與 QGNPC-D-6330 多通道數(shù)字控制器結(jié)合使用時，可提供先進的動態(tài)性能。
特性
● XY 軸行程為 100 微米
● Z 軸行程為 20 微米
● XY 軸分辨率為 0.25 納米
● Z 軸分辨率為 0.085 納米
● XY 和 Z 軸的可重復性為 0.5 納米
● 原位掃描和步進響應優(yōu)化
● 插頭內(nèi)置芯片用于儲存校準數(shù)據(jù)實現(xiàn)即插即用，控制器可替換使用，減少系統(tǒng)停機時間
● 四角式固定實現(xiàn)卓越的動態(tài)穩(wěn)定性
● 堅固可靠
應用
● AFM、SPM、NSOM
● 高精度顯微鏡
推薦控制器
● QGNPC-D-600 系列
產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 負載 kg | 線性誤差 % | 重復定位精度 nm |
| NPS-XYZ-100D-20H | XYZ |
鋁（鍍鎳） |
100 × 100 × 20 |
0.5 |
0.005 |
0.5 |
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