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壓電6軸平臺

行程 (XYZ)：± 5 mm

行程 θ (XYZ)：± 10°

較小可移動增量 (XYZ)：2 nm

較小可移動增量 θ (XYZ)：＜ 0.1 μrad

重復(fù)定位精度 (XYZ)：± 200 nm

重復(fù)定位精度 θ (XYZ)：± 15 μrad

大推力/拉力：(X) 20 N / (Y) 16 N / (Z) 30 N

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述

HEX2-30N 壓電 6 軸平臺既可沿著也可圍繞 X、Y 和 Z 軸以納米級精度移動重達(dá) 2.5 kg 的負(fù)載。

模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容，可以輕松地組合成多軸系統(tǒng)，提供平滑的連續(xù)運動、快速的步進和整定時間，并且在靜止時自鎖。

HEX2-30N 壓電 6 軸平臺還可通過兩個菊花鏈連接的控制器和應(yīng)用程序來控制。提供 C++ DLL 文件，輕松實現(xiàn)軟件的二次開發(fā)。

特性

● 行程 (XYZ)：± 5 mm

● 行程 θ (XYZ)：± 10°

● 較小可移動增量 (XYZ)：2 nm

● 較小可移動增量 θ (XYZ)：＜ 0.1 µrad

● 重復(fù)定位精度 (XYZ)：± 200 nm

● 重復(fù)定位精度 θ (XYZ)：± 15 µrad

● 大推力/拉力：(X) 20 N / (Y) 16 N / (Z) 30 N

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

參數(shù)/型號	行程 (XYZ)	行程 θ (XYZ)	較小運動增量 (XYZ)	較小運動增量 θ (XYZ)	重復(fù)定位精度 (XYZ)	重復(fù)定位精度 θ (XYZ)	大推力/拉力
HEX2-30N	± 5	± 10	2	＜ 0.1	± 200	± 15	(X) 20 N / (Y) 16 N / (Z) 30 N