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真空壓電6軸平臺

行程 (XYZ)：± 10 mm

行程 θ (XYZ)：± 10°

較小可移動增量 (XYZ)：2 nm

較小可移動增量 θ (XYZ)：＜ 0.1 μrad

重復(fù)定位精度 (XYZ)：± 200 nm

重復(fù)定位精度 θ (XYZ)：± 15 μrad

大推力/拉力：(X) 20 N / (Y) 16 N / (Z) 30 N

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述

HEX1HV 真空壓電 6 軸平臺既可沿著也可圍繞 X、Y 和 Z 軸以納米級精度移動重達 2.5 kg 的負載。

這款平臺為低至 10-4 Pa 的高真空環(huán)境而設(shè)計，每個平臺都配有一根真空線纜（編織金屬套管包裹的 PTFE 涂層電線），末端為 DB9 母頭。

此外每個平臺還配有空氣端母頭 DB9 轉(zhuǎn) ix-Industrial 接口的線纜。將真空端和空氣端線纜連接到 DB9 饋通接口，將空氣端的 ix-Industrial 連接器連接到控制器，即可開始使用了！

模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品都互相兼容，并且可以輕松地組合成多軸系統(tǒng)，提供平滑的連續(xù)運動、快速的步進和整定時間及靜止時自鎖功能。

特性

● 行程 (XYZ)：± 10 mm

● 行程 θ (XYZ)：± 10°

● 較小可移動增量 (XYZ)：2 nm

● 較小可移動增量 θ (XYZ)：＜ 0.1 µrad

● 重復(fù)定位精度 (XYZ)：± 200 nm

● 重復(fù)定位精度 θ (XYZ)：± 15 µrad

● 大推力/拉力：(X) 20 N / (Y) 16 N / (Z) 30 N

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

參數(shù)/型號	行程 (XYZ)	行程 θ (XYZ)	較小運動增量 (XYZ)	較小運動增量 θ (XYZ)	重復(fù)定位精度 (XYZ)	重復(fù)定位精度 θ (XYZ)	大推力/拉力
HEX1HV-30N	± 10	± 10	2	＜ 0.1	± 200	± 15	(X) 20 N / (Y) 16 N / (Z) 30 N