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真空壓電6軸平臺(tái)

行程 (XYZ)：± 10 mm

行程 θ (XYZ)：± 10°

較小可移動(dòng)增量 (XYZ)：2 nm

較小可移動(dòng)增量 θ (XYZ)：＜ 0.1 μrad

重復(fù)定位精度 (XYZ)：± 200 nm

重復(fù)定位精度 θ (XYZ)：± 15 μrad

大推力/拉力：(X) 10 N / (Y) 8 N / (Z) 15 N

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述

HEX1HV 真空壓電 6 軸平臺(tái)既可沿著也可圍繞 X、Y 和 Z 軸以納米級(jí)精度移動(dòng)重達(dá) 2.5 kg 的負(fù)載。

這款平臺(tái)為低至 10-4 Pa 的高真空環(huán)境而設(shè)計(jì)，每個(gè)平臺(tái)都配有一根真空線(xiàn)纜（編織金屬套管包裹的 PTFE 涂層電線(xiàn)），末端為 DB9 母頭。

此外每個(gè)平臺(tái)還配有空氣端母頭 DB9 轉(zhuǎn) ix Industrial 接口的線(xiàn)纜。將真空端和空氣端線(xiàn)纜連接到 DB9 饋通接口，將空氣端的 ix-Industrial 連接器連接到控制器，即可開(kāi)始使用了！

模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品都互相兼容，并且可以輕松地組合成多軸系統(tǒng)，提供平滑的連續(xù)運(yùn)動(dòng)、快速的步進(jìn)和整定時(shí)間及靜止時(shí)自鎖功能。

特性

● 行程 (XYZ)：± 10 mm

● 行程 θ (XYZ)：± 10°

● 較小可移動(dòng)增量 (XYZ)：2 nm

● 較小可移動(dòng)增量 θ (XYZ)：＜ 0.1 µrad

● 重復(fù)定位精度 (XYZ)：± 200 nm

● 重復(fù)定位精度 θ (XYZ)：± 15 µrad

● 大推力/拉力：(X) 10 N / (Y) 8 N / (Z) 15 N

產(chǎn)品參數(shù)

型號(hào)	HEX1HV-15N
定位
行程 (XYZ)	± 10 mm
行程 θ (XYZ)	± 10 °
較小運(yùn)動(dòng)增量 (XYZ)	2 nm
較小運(yùn)動(dòng)增量 θ (XYZ)	＜ 0.1 µrad
重復(fù)定位精度 (XYZ)	± 200 nm
重復(fù)定位精度 θ (XYZ)	± 15 µrad
運(yùn)動(dòng)性能
大推力/拉力	(X) 10 N / (Y) 8 N / (Z) 15 N
鎖止力 (電源關(guān)閉時(shí))	(X) 12 N / (Y) 10 N / (Z) 18 N
空載時(shí)的大速度(XY)	8 mm/s
大負(fù)載時(shí)的速度 (Z)	＞ 5 mm/s
驅(qū)動(dòng)類(lèi)型
基本模塊	PRECIBEO GO LLS4545 平臺(tái)
機(jī)械性能
頂部負(fù)載	1 kg
直徑	220 mm
高度	85 — 105 mm
其他
真空端線(xiàn)纜	6 根 1 m 線(xiàn)纜 (± 5 %) 帶 f. DB9 連接器
空氣端線(xiàn)纜	6 根 2 m 線(xiàn)纜 (± 5 %) 帶 f. DB9 和 ix Industrial 連接器
材質(zhì)	鋁

產(chǎn)品參數(shù)

參數(shù)/型號(hào)	行程 (XYZ)	行程 θ (XYZ)	較小運(yùn)動(dòng)增量 (XYZ)	較小運(yùn)動(dòng)增量 θ (XYZ)	重復(fù)定位精度 (XYZ)	重復(fù)定位精度 θ (XYZ)	大推力/拉力
HEX1HV-15N	± 10	± 10	2	＜ 0.1	± 200	± 15	(X) 10 N / (Y) 8 N / (Z) 15 N