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控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
NPS-Z-500C
緊湊型 500 μm 高精度升降臺
500 μm 閉環(huán)行程
低旋轉(zhuǎn)誤差 0.0025°
2 nm 分辨率
5 nm 的重復(fù)性
伺服帶寬高達 55 Hz
線性度誤差為 0.002% 典型值
空載諧振頻率通常為 210 Hz
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
緊湊型 500 μm 高精度升降臺
Queensgate的納米定位平臺（NPS）系列旨在為對速度和精度有嚴(yán)苛要求的應(yīng)用場景提供優(yōu)異性能。
NPS-Z-500C 是一款緊湊型、長行程的壓電高度調(diào)節(jié)平臺，其在閉環(huán)控制下可移動 500 微米。
該產(chǎn)品為 OEM 和定制項目而設(shè)計，其小巧的尺寸非常適合集成到儀器或測試設(shè)備中。內(nèi)置的電容式定位傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)高速性能和低至納米級的重復(fù)精度。
得益于柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來的低誤差運動，讓這款平臺在整個 500 微米的行程范圍內(nèi)能始終保持平穩(wěn)狀態(tài)，這使得樣品托架能夠進行偏移，從而在保持高精度定位的同時方便地接近樣品。樣品托架和平臺安裝件可根據(jù)各種應(yīng)用需求進行定制，適用于顯微鏡、硬盤測試以及半導(dǎo)體檢測等廣泛領(lǐng)域。
特性
● 500 μm 閉環(huán)行程
● 低旋轉(zhuǎn)誤差：0.0025°
● 2 nm 分辨率和 5 nm 的重復(fù)性
● 線性度誤差為 0.002% 典型值
● 原位掃描和步進響應(yīng)優(yōu)化
● 電容式定位傳感器提供無與倫比的位置精度和準(zhǔn)確度
● 動態(tài)性能：空載諧振頻率通常為 210 Hz，伺服帶寬高達 55 Hz
● 插頭內(nèi)置芯片用于儲存校準(zhǔn)數(shù)據(jù)實現(xiàn)即插即用，控制器可替換使用，減少系統(tǒng)停機時間。
應(yīng)用
● 高精度顯微鏡
共聚焦顯微鏡
光片顯微鏡
● 硬盤檢測
● 半導(dǎo)體檢測和制造
● 科學(xué)和醫(yī)療儀器
● 反射鏡位置調(diào)節(jié)
推薦控制器
● NPC-D-6110
產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 負載 kg | 線性誤差 % | 重復(fù)定位精度 nm |
| NPS-Z-500C | Z |
鋁/不銹鋼 |
500 |
NA. |
0.002 |
5 |
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電話：021-52996090郵箱：[email protected]傳真：021-52996090
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