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顯微鏡電動模塊
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附件
控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
XWS
行程 130 × 100 mm
采用Crossfixx 超聲波壓電技術(shù)
可配備50 nm編碼器，分辨率可達(dá) 50 nm
速度可達(dá) 250 mm/s
壽命超過 1000 km 或 2000萬次循環(huán)
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
核心優(yōu)勢
XWS 系列 XY 壓電平臺是一款集成式高精度定位系統(tǒng)，采用超聲波壓電電機(jī)驅(qū)動，專為納米級精度運(yùn)動控制設(shè)計(jì)。該平臺結(jié)合了高速定位與納米級精度，可在 130 ch 100 mm 范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的平面運(yùn)動，適用于顯微鏡、材料科學(xué)、半導(dǎo)體檢測等對精度和穩(wěn)定性要求較高的應(yīng)用場景。
一、超聲波壓電驅(qū)動技術(shù)
采用 Crossfixx 超聲波壓電技術(shù)，無電磁干擾，運(yùn)行噪音低且無振動。
電機(jī)具備自鎖定功能，斷電后仍能保持位置，確保系統(tǒng)安全。
低發(fā)熱設(shè)計(jì)，保障長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。
二、高精度與高速度
閉環(huán)位置控制確保納米級定位精度，分辨率可達(dá) 50 nm（根據(jù)型號不同）。
速度可達(dá) 250 mm/s，支持快速點(diǎn)到點(diǎn)移動。
雙向重復(fù)定位精度 ±100 nm，穩(wěn)定性優(yōu)異。
三、長壽命與高可靠性
精密直線循環(huán)滾子軸承，壽命超過 1000 km 或 2000 萬次循環(huán)。
被動保持剛度高達(dá) 1 N/μm，抗外界干擾能力強(qiáng)。
負(fù)載能力 3 kg，適用于多種實(shí)驗(yàn)配置。
四、靈活適配性
提供多種載物臺插件：標(biāo)準(zhǔn) M6 面包板、空白插件、多孔板適配器等，支持定制化需求。
環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)：工作溫度 +10°C 至 +40°C，濕度 ≤ 75% RH（非冷凝）。
五、應(yīng)用領(lǐng)域
● 顯微鏡與成像技術(shù)
● 納米加工與檢測
● 生物醫(yī)學(xué)研究
● 半導(dǎo)體制造與檢測
● 光學(xué)儀器校準(zhǔn)
六、尺寸圖
Crossfixx壓電電機(jī)
● 壓電電機(jī)并非一定速度慢、噪音大且價(jià)格昂貴?；?span lang="EN-US">Crossfixx 技術(shù)的超聲壓電電機(jī)是我們所有運(yùn)動產(chǎn)品的核心。
● 它標(biāo)志著運(yùn)動控制領(lǐng)域的一項(xiàng)突破，因?yàn)樗婢邏弘娂夹g(shù)的所有優(yōu)勢，卻沒有通常與之相關(guān)的缺點(diǎn)。緊湊的 Crossfixx 電機(jī)將速度、精度、行程范圍和動力與耐用、靜音運(yùn)行相結(jié)合，是目前市面上多種微型電機(jī)的優(yōu)質(zhì)替代品。
基于Crossfixx技術(shù)的電機(jī)基于兩種共振頻率一致的共振模式
● 第一種模式使壓電陶瓷產(chǎn)生均勻的徑向膨脹，其中接觸點(diǎn)垂直于載物臺振動。
● 第二種模式的特點(diǎn)是平面內(nèi)彎曲，接觸點(diǎn)平行于載物臺振動。
● 通過結(jié)合這兩種模式，電機(jī)的尖端將沿橢圓軌跡運(yùn)動。振動尖端的位移很小，亞微米量級，但由于這種橢圓運(yùn)動以 166 千赫茲的頻率重復(fù)，可實(shí)現(xiàn)高達(dá) 1000 毫米 / 秒的速度。
● 第二種模式的特點(diǎn)是平面內(nèi)彎曲，接觸點(diǎn)平行于載物臺振動。
● 通過結(jié)合這兩種模式，電機(jī)的尖端將沿橢圓軌跡運(yùn)動。振動尖端的位移很小，亞微米量級，但由于這種橢圓運(yùn)動以 166 千赫茲的頻率重復(fù)，可實(shí)現(xiàn)高達(dá) 1000 毫米 / 秒的速度。
超聲運(yùn)行的優(yōu)勢
● 該電機(jī)以 166 千赫茲的頻率共振，遠(yuǎn)高于人耳的聽覺極限。因此，電機(jī)能夠靜音運(yùn)行。
● 166 千赫茲也遠(yuǎn)高于大多數(shù)機(jī)械系統(tǒng)的截止頻率，所以對周圍機(jī)械系統(tǒng)的機(jī)械干擾可以忽略不計(jì)。
● 共振運(yùn)行還將激勵電壓降低到安全限度。運(yùn)行電壓低至 20 伏是可行的，而對于要求較高的應(yīng)用，電壓可提高到 48 伏。
固定方式
電機(jī)固定在中心孔處，該中心孔是兩種模式的節(jié)點(diǎn)。這有諸多優(yōu)點(diǎn)：
● 電機(jī)不會通過這個(gè)固定點(diǎn)向周圍環(huán)境傳遞振動
● 固定對模式和相應(yīng)共振頻率的影響較小
● 對稱固定，減少熱漂移
● 固定方式緊湊
產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號 | 行程 mm | 重復(fù)精度 μm | 分辨率 μm | 速度 mm/s | 負(fù)載 kg | 編碼器精度 μm | 螺距 mm |
| XWS | 130 × 100 |
± 0.01 |
1 0.25 0.05 |
250 |
3 |
1 0.25 0.05 |
No |
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