三、IST智能掃描技術(shù)
IST 智能掃描技術(shù)通過集成誤差補償機制提高載物臺定位精度。在以往使用電動載物臺的過程中可能會出現(xiàn)以下問題:
● 電機驅(qū)動誤差導(dǎo)致目標(biāo)位置與實際位置偏差
● X/Y?軸正交性不完美引發(fā)耦合誤差
● 溫濕度變化使校準(zhǔn)數(shù)據(jù)失效
● 顯微鏡更換不同載物臺之后需要重新校準(zhǔn)
IST校準(zhǔn)過程
● 手動輸入系統(tǒng)參數(shù)(物鏡倍數(shù)、環(huán)境溫度等)
● 自動或手動移動載物臺至網(wǎng)格交點,記錄電機坐標(biāo)與實際位置偏差
● 生成誤差表并存儲于載物臺內(nèi)部存儲器
● 運動過程中控制軟件實時讀取誤差表,修正電機指令
● 可支持多環(huán)境誤差表(如不同溫度),適應(yīng)動態(tài)條件
? ? ? ? ??
IST智能掃描技術(shù)優(yōu)勢
● 即插即用:誤差表儲存載物臺內(nèi)部,跨系統(tǒng)無需重新校準(zhǔn)
● 高精度定位:通過網(wǎng)格交點檢測提升正交性(誤差<5?角秒)
● 環(huán)境適應(yīng)性:支持多條件誤差補償,長期保持精度
四、廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域
生物醫(yī)藥領(lǐng)域?—— 在細(xì)胞研究、藥物研發(fā)等實驗中,需要對生物樣本進行高精度的觀察和分析??膳浜巷@微鏡,精準(zhǔn)掃描細(xì)胞樣本,幫助科研人員捕捉細(xì)胞的細(xì)微變化,為藥物研發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。
病理學(xué)領(lǐng)域?——?病理切片的檢測對精度要求較高。能快速、準(zhǔn)確地掃描病理切片,幫助醫(yī)生清晰地觀察病變組織,提高病理診斷的準(zhǔn)確性。
半導(dǎo)體領(lǐng)域?——?半導(dǎo)體晶圓的檢測關(guān)乎芯片的質(zhì)量和性能。憑借其高精度和多樣的掃描路徑,能夠?qū)A表面進行全面檢測,及時發(fā)現(xiàn)微小的缺陷和瑕疵。
電子電路領(lǐng)域?——?在電子電路的研發(fā)和生產(chǎn)過程中,需要對電路板進行精細(xì)檢測。可實現(xiàn)對電路板的快速掃描,檢測電路的連通性和元件的質(zhì)量。
金相及汽車清潔度領(lǐng)域?——?對于金相樣品的分析以及汽車零部件清潔度的檢測,?都能發(fā)揮重要作用,幫助工程師準(zhǔn)確評估材料性能和產(chǎn)品質(zhì)量。