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MTP 系列
開環(huán)促動器
15、30、45、75 或 105 μm 行程可選
亞納米級分辨率，低電壓，緊湊小巧，高剛性
內(nèi)部預(yù)載 – 高拉力，VAC 和 UVAC 選項
多樣的配件，金屬防護外殼，負(fù)載可達 10 Kg
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
MTP 是一種內(nèi)部預(yù)載壓電開環(huán)平移裝置，能夠移動長達 105 μm，且分辨率高。
該作動器采用了高剛性設(shè)計，能夠產(chǎn)生 1000 N（MTP-15）的止推力。這一特性使其能夠在 Z 軸向上驅(qū)動高達 10 kg（MTP-15）的負(fù)載。只需一臺 0 V 至 20 VDC HV 放大器即可驅(qū)動 MTP 作動器的整個標(biāo)稱行程范圍。此外，如果需要，也可以通過使用 -30 V至 150 VDC HV 放大器來獲得擴展的行程范圍。
如果需要小型化和閉環(huán)性能，可以將 MTP 與 Queensgate 的位置測量系統(tǒng)聯(lián)用，可提供亞納米級精度的電容式位置傳感，并獲得傳感器獨立于作動器放置的優(yōu)勢，能夠自由地將傳感器板安裝在主機固定裝置的任意適當(dāng)位置。
特性
● 15、30、45、75 或 105 μm 行程可選
● 亞納米級分辨率，低電壓，緊湊小巧，高剛性
● 內(nèi)部預(yù)載 – 高拉力，VAC 和 UVAC 選項
● 多樣的配件，金屬防護外殼，負(fù)載可達 10 Kg
應(yīng)用
● 顯微鏡
● 光束控制
● 聯(lián)用 Queensgate 納米傳感器構(gòu)成定制閉環(huán)系統(tǒng)配置
產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號 | 材料 | 尺寸 mm | 行程 mm | 線性誤差 % | 重復(fù)精度 nm |
| MTP-15 | 不銹鋼 |
Φ10 × 30 |
15 |
≤6 |
NA. |
| MTP-30 | 不銹鋼 |
Φ10 × 50 |
30 |
≤6 |
NA. |
| MTP-45 | 不銹鋼 |
Φ10 × 70 |
45 |
≤6 |
NA. |
| MTP-70 | 不銹鋼 |
Φ10 × 110 |
70 |
≤6 |
NA. |
| MTP-105 | 不銹鋼 |
Φ10 × 150 |
105 |
≤6 |
NA. |
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