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顯微鏡電動(dòng)模塊
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隔振平臺(tái)
隔振平臺(tái) -
附件
控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
NPS-Z-500B-UHV
500 μm長(zhǎng)行程壓電臺(tái)
80K UHV 下的100 μm 閉環(huán)位移
高度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)，離軸偏差較小
位置噪聲＜1 nm，線性度0.01%，0.02%殘余滯后
可定制套件，可提供真空和低溫版
出色的分辨率、可重復(fù)性、剛性和穩(wěn)定性
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
NPS-Z-500B-UHV 可以在溫度 80 K 真空度 10 — 9 torr 的環(huán)境中實(shí)現(xiàn) 100 μm 的全行程。電容式定位傳感器提高閉環(huán)精度，柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)使其成為了一款高度線性的設(shè)備，擁有出色的分辨率、可重復(fù)性、剛性和穩(wěn)定性。低離軸誤差和高諧振頻率進(jìn)一步增強(qiáng)了性能。
特性
● 80 K UHV 下的 100 μm 閉環(huán)位移
● 高度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)，離軸偏差較小
● 位置噪聲 ＜1 nm，線性度 0.01 %，0.02 % 殘余滯后
● 可定制套件，可提供真空和低溫版
● 出色的分辨率、可重復(fù)性、剛性和穩(wěn)定性
推薦控制器
● NPC-D-5200 數(shù)字控制器
● NPC-D-6000 系列
產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號(hào) | 方向 | 材料 | 行程 μm | 負(fù)載 kg | 線性誤差 % | 重復(fù)定位精度 nm |
| NPS-Z-500B-UHV | Z |
鈦鋁合金 |
550 |
NA. |
0.1 |
NA. |
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控制器
電話：021-52996090郵箱：[email protected]傳真：021-52996090
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