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                        產(chǎn)品中心
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                        納米定位系統(tǒng)
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                        壓電定位平臺(tái)
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                        NPS-XY-100A
                    
      
                    
      
                        
      
                            
      
                                
      
                                    
        
                                            
                                                                                    
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      NPS-XY-100A
      
                            
      兩軸XY壓電臺(tái)
      
                            
      
                                                                    
      單軸＞100 微米行程，亞納米級(jí)分辨率
      
                                                                    
      滯后和線性誤差＜0.005 %
      
                                                                    
      一階諧振頻率＞350 Hz（NPS-XY-100A），＞500 Hz （NPS-XY-100B），＞650 Hz （NPS-XY-100D）
      
                                                                    
      高帶寬（＞50 Hz），響應(yīng)時(shí)間短
      
                                                                    
      原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
      
                                                            
      
                        
      
                    
      

                
      
            
      
            
      
                
      
                    
      
                        
      
                                                        
      產(chǎn)品描述
      
                                                                                    
      產(chǎn)品參數(shù)
      
                                                                                    
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      產(chǎn)品描述
      
                            
      NPS-XY-100 壓電掃描柔性鉸鏈導(dǎo)向平臺(tái)，帶有集成的電容位置傳感器，具備亞納米級(jí)的分辨率和可重復(fù)性。
      

      柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)制的有限元分析將整個(gè) 100 微米范圍內(nèi)的寄生角運(yùn)動(dòng)減少到了 25 微弧度以下。獨(dú)特的均衡安裝系統(tǒng)可確保來自安裝系統(tǒng)的應(yīng)力降低，并將平臺(tái)的中心確立為坐標(biāo)參考點(diǎn)。
      

      NPS-XY-100 A 二軸 100 × 100 µm 平臺(tái)超殷瓦鋼板-由超殷瓦低膨脹系數(shù)合金（CTE 0.3ppm K-1）構(gòu)成，能夠較大限度的減少熱漂移，在納米尺度上這是非常重要的。三點(diǎn)式運(yùn)動(dòng)學(xué)安裝。
      

      NPS-XY-100 D 二軸 100 × 100 µm 平臺(tái)超鋁版-由鋁制成。其具有 XY-100 系列中優(yōu)異的分辨率和較快的動(dòng)態(tài)性能，且性價(jià)比高。四角式固定，安裝簡(jiǎn)單。
      

      特性
      

      ● 單軸 ＞100 微米行程，亞納米級(jí)分辨率
      

      ● 滯后和線性誤差 ＜0.005%
      

      ● 一階諧振頻率 ＞350 Hz（NPS-XY-100A），＞500 Hz （NPS-XY-100B），＞650 Hz （NPS-XY-100D）
      

      ● 高帶寬（＞50 Hz），響應(yīng)時(shí)間短
      

      ● 原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
      

      應(yīng)用
      

      ● 高精度顯微鏡
      

      ● AFM，SPM，NSOM
      

      推薦控制器
      

      ● NPC-D-6000 系列
      

       
      

      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      

       
      
                        
      
                                                                        
      
                            
      產(chǎn)品參數(shù)
      
                                                        
      
                                
      
                                    
                                    
      
                                        參數(shù)/型號(hào)
                                        
                                                                                    方向
                                                                                    材料
                                                                                    行程 μm
                                                                                    負(fù)載 kg
                                                                                    線性誤差 %
                                                                                    重復(fù)定位精度 nm
                                                                            
      
                                          
                                    
                                                                            
      
                                            NPS-XY-100A
                                                                                            
      XY
      		
                                                                                            
      殷瓦合金
      		
                                                                                            
      100 × 100
      		
                                                                                            
      1
      		
                                                                                            
      ＜0.01
      		
                                                                                            
      NA.
      		
                                                                                    
      
                                                                              
                                
      

                            
      
                            
      
                                
                            
      
                                                    
      
                                                                        
                                                                        
      
                            
      相關(guān)附件
      
                                                            
                                                    
      
                                            
      
                
      
            
      
        
      
    
      
    
      
    

      

      
    
      
    
      產(chǎn)品中心
      

      

      
    
      
        
        
      
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