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      高精度定位:Queensgate 推出新型高負(fù)載壓電平臺(tái)

      2025-08-05 15:44:35

      虹漸光電

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      Queensgate Instruments 近期推出了一款能夠承載高達(dá) 6 kg 負(fù)載、具有放大功能的高負(fù)載平臺(tái),擴(kuò)展了其高性能納米定位壓電平臺(tái)產(chǎn)品系列。 該平臺(tái)的測(cè)量范圍為 250 微米,有兩種配置可供選擇:用于水平移動(dòng)的 QGNPS-X-250B 和用于垂直移動(dòng)的 QGNPS-Z-250B。兩種配置均具備精密制造應(yīng)用所需的亞納米級(jí)分辨率。
      正如 Queensgate 產(chǎn)品經(jīng)理 Craig Goodman 所解釋的那樣,該平臺(tái)通過(guò)將柔性鉸鏈與電容式傳感器相結(jié)合來(lái)實(shí)現(xiàn)其高精度運(yùn)動(dòng):
      該系統(tǒng)具有柔性鉸鏈導(dǎo)向運(yùn)動(dòng)功能,幾乎消除了旋轉(zhuǎn)誤差。電容式傳感器直接測(cè)量平臺(tái)的運(yùn)動(dòng),結(jié)合壓電促動(dòng)器近乎無(wú)限的分辨率和我們的低噪聲電子控制設(shè)備,確保高精度的定位。”
      用戶可以選擇適合其應(yīng)用和有效載荷的校準(zhǔn)參數(shù),以實(shí)現(xiàn)快速的步進(jìn)穩(wěn)定時(shí)間。大負(fù)載能力下,2 微米步長(zhǎng)僅為 18 毫秒。 這款平臺(tái)為要求嚴(yán)苛的高精度工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì),典型用途包括:
      物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)定位
      白光表面計(jì)量
      半導(dǎo)體檢測(cè)
      精密制造
       

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